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Desarrollo de un clasificador de patrones de defectos de obleas utilizando entradas transformadas del sistema de coordenadas polares y redes neuronales convolucionales

Autores: Kim, Moo Hyun; Kim, Tae Seon

Idioma: Inglés

Editor: MDPI

Año: 2024

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Acceso abierto

Artículo científico
2024

Desarrollo de un clasificador de patrones de defectos de obleas utilizando entradas transformadas del sistema de coordenadas polares y redes neuronales convolucionales


Categoría

Ingeniería y Tecnología

Subcategoría

Ingeniería Eléctrica y Electrónica

Palabras clave

Análisis de patrones de defectos
Mapas de contenedores de obleas
Aprendizaje automático
Aprendizaje profundo
Sistema de coordenadas polares
Clasificador CNN

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 34

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
El análisis de patrones de defectos de mapas de contenedores de obleas (WBMs) es un medio importante para identificar problemas de proceso. Recientemente, se han estudiado métodos de análisis automatizado utilizando aprendizaje automático o aprendizaje profundo como alternativas a la clasificación manual por parte de los ingenieros. En este documento, proponemos un método para mejorar el rendimiento de extracción de características de patrones de defectos mediante la transformación del sistema de coordenadas polares en lugar de la entrada de imagen de WBM existente.

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