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Caracterización eléctrica de un recolector de energía de vibración unimorfo con estructura Al/AlN/Al realizada mediante pulverización catódica magnetrónica

Autores: Desideri, Daniele; Moro, Federico

Idioma: Inglés

Editor: MDPI

Año: 2024

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Acceso abierto

Artículo científico
2024

Caracterización eléctrica de un recolector de energía de vibración unimorfo con estructura Al/AlN/Al realizada mediante pulverización catódica magnetrónica


Categoría

Ingeniería y Tecnología

Subcategoría

Ingeniería Eléctrica y Electrónica

Palabras clave

Realización
Unimorfo
Vibración
Recolector de energía
AlN
Pulverización catódica de magnetrones

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 30

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
En este trabajo, se propone la realización de un recolector de energía de vibración unimorfo con una estructura de Al/AlN/Al mediante pulverización catódica. A partir de un sustrato de Al, el dispositivo con una estructura de Al/AlN/Al se obtuvo utilizando la pulverización catódica en dos condiciones operativas diferentes. El recolector de energía realizado fue investigado en la configuración del doblador unimorfo. La caracterización eléctrica se realizó mediante la estimación del coeficiente piezoeléctrico d de AlN y las mediciones de la potencia de salida. El valor absoluto estimado de d fue de 0.48 pC/N y la potencia de salida máxima fue de aproximadamente 17 W con una aceleración de excitación de 9.81 m/s (valor eficaz).

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