Caracterización eléctrica de un recolector de energía de vibración unimorfo con estructura Al/AlN/Al realizada mediante pulverización catódica magnetrónica
Autores: Desideri, Daniele; Moro, Federico
Idioma: Inglés
Editor: MDPI
Año: 2024
Acceso abierto
Artículo científico
2024
Caracterización eléctrica de un recolector de energía de vibración unimorfo con estructura Al/AlN/Al realizada mediante pulverización catódica magnetrónica
Categoría
Ingeniería y Tecnología
Subcategoría
Ingeniería Eléctrica y Electrónica
Palabras clave
Realización
Unimorfo
Vibración
Recolector de energía
AlN
Pulverización catódica de magnetrones
Licencia
CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual
Consultas: 30
Citaciones: Sin citaciones
En este trabajo, se propone la realización de un recolector de energía de vibración unimorfo con una estructura de Al/AlN/Al mediante pulverización catódica. A partir de un sustrato de Al, el dispositivo con una estructura de Al/AlN/Al se obtuvo utilizando la pulverización catódica en dos condiciones operativas diferentes. El recolector de energía realizado fue investigado en la configuración del doblador unimorfo. La caracterización eléctrica se realizó mediante la estimación del coeficiente piezoeléctrico d de AlN y las mediciones de la potencia de salida. El valor absoluto estimado de d fue de 0.48 pC/N y la potencia de salida máxima fue de aproximadamente 17 W con una aceleración de excitación de 9.81 m/s (valor eficaz).
Descripción
En este trabajo, se propone la realización de un recolector de energía de vibración unimorfo con una estructura de Al/AlN/Al mediante pulverización catódica. A partir de un sustrato de Al, el dispositivo con una estructura de Al/AlN/Al se obtuvo utilizando la pulverización catódica en dos condiciones operativas diferentes. El recolector de energía realizado fue investigado en la configuración del doblador unimorfo. La caracterización eléctrica se realizó mediante la estimación del coeficiente piezoeléctrico d de AlN y las mediciones de la potencia de salida. El valor absoluto estimado de d fue de 0.48 pC/N y la potencia de salida máxima fue de aproximadamente 17 W con una aceleración de excitación de 9.81 m/s (valor eficaz).