Comportamientos ferroeléctricos dependientes de la temperatura de los capacitores ferroeléctricos basados en AlScN con una delgada interfaz de HfO para mejorar la resistencia y la corriente de fuga
Autores: Joo, Hyeong Jun; Yoon, Si Sung; Oh, Seung Yoon; Lim, Yoojin; Lee, Gyu Hyung; Yoo, Geonwook
Idioma: Inglés
Editor: MDPI
Año: 2024
Acceso abierto
Artículo científico
2024
Comportamientos ferroeléctricos dependientes de la temperatura de los capacitores ferroeléctricos basados en AlScN con una delgada interfaz de HfO para mejorar la resistencia y la corriente de fuga
Categoría
Ingeniería y Tecnología
Subcategoría
Ingeniería Eléctrica y Electrónica
Palabras clave
Ferroeléctrico
Comportamiento de conmutación
Metal-ferroeléctrico
Condensador
Corriente de fuga
Campo de ruptura
Licencia
CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual
Consultas: 43
Citaciones: Sin citaciones
El comportamiento de conmutación ferroeléctrica de un capacitor metal-ferroeléctrico AlScN-HfO-metal (MFIM) fue investigado a temperaturas variables y comparado con un capacitor MFM. Aunque el capacitor MFIM demostró una polarización remanente inferior (valor de 2P de 74 uC/cm), exhibió una corriente de fuga reducida (x1/100) y un campo de ruptura más alto. El MFIM mostró un cambio estable en 2P desde la temperatura ambiente hasta 200 grados Celsius y una resistencia mejorada de ~10 ciclos a 200 grados Celsius; además, la corriente de fuga no se degradó tanto después de las pruebas cíclicas. Por lo tanto, el AlScN ferroeléctrico con una delgada capa intermedia de HfO puede mejorar la confiabilidad de la conmutación ferroeléctrica.
Descripción
El comportamiento de conmutación ferroeléctrica de un capacitor metal-ferroeléctrico AlScN-HfO-metal (MFIM) fue investigado a temperaturas variables y comparado con un capacitor MFM. Aunque el capacitor MFIM demostró una polarización remanente inferior (valor de 2P de 74 uC/cm), exhibió una corriente de fuga reducida (x1/100) y un campo de ruptura más alto. El MFIM mostró un cambio estable en 2P desde la temperatura ambiente hasta 200 grados Celsius y una resistencia mejorada de ~10 ciclos a 200 grados Celsius; además, la corriente de fuga no se degradó tanto después de las pruebas cíclicas. Por lo tanto, el AlScN ferroeléctrico con una delgada capa intermedia de HfO puede mejorar la confiabilidad de la conmutación ferroeléctrica.