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Recientes avances y perspectivas de las tecnologías de anodización con láser UV para dispositivos CMOS avanzados

Autores: Tabata, Toshiyuki; Rozé, Fabien; Thuries, Louis; Halty, Sébastien; Raynal, Pierre-Edouard; Karmous, Imen; Huet, Karim

Idioma: Inglés

Editor: MDPI

Año: 2022

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Acceso abierto

Artículo científico
2022

Recientes avances y perspectivas de las tecnologías de anodización con láser UV para dispositivos CMOS avanzados


Categoría

Ingeniería y Tecnología

Subcategoría

Ingeniería Eléctrica y Electrónica

Palabras clave

Tecnología de vanguardia
Tecnología CMOS
Integración 3D
Presupuesto térmico
Recocido con láser UV
Ingeniería de materiales

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 24

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
La tecnología CMOS de última generación ha comenzado a adoptar enfoques de integración tridimensional (3D), lo que permite un aumento continuo de la densidad de chips y mejora del rendimiento, al tiempo que alivia las dificultades encontradas en la escalabilidad planar tradicional.

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