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Análisis de estabilidad de la forma de superficie cargada de asféricas fuera de eje de corto enfoque para el pulido de espejos sometidos a tensión

Autores: Li, Jinfeng; Hu, Haifei; Zhu, Junqing; Pei, Han; Liu, Le

Idioma: Inglés

Editor: MDPI

Año: 2025

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Acceso abierto

Artículo científico
2025

Análisis de estabilidad de la forma de superficie cargada de asféricas fuera de eje de corto enfoque para el pulido de espejos sometidos a tensión


Categoría

Tecnología de Equipos y Accesorios

Subcategoría

Diseño de equipos y herramientas

Palabras clave

Método de pulido de espejo estresado
Asféricas fuera de eje de enfoque corto
Herramienta de pulido
Coeficientes de Zernike
Análisis de elementos finitos
Figura de haz de iones

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 18

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
El método de pulido de espejo con tensión (SMP) permite la fabricación de alta calidad y eficiencia de asféricas fuera de eje de enfoque corto (SFOA) para superar las dificultades que surgen de una gran asfericidad, lo que hace que la herramienta de pulido no se ajuste a la forma de la superficie del espejo y produzca errores de frecuencia media y alta. Sin embargo, aún falta un método de carga iterativa preciso y análisis detallados de la estabilidad de la forma de la superficie cargada para procesar SFOA a través de SMP. Por lo tanto, se estableció un modelo de análisis fundamental para SMP, integrando modelado teórico matemático con un análisis de elementos finitos (FEA). Basado en este modelo, se propuso una estrategia de carga iterativa, basada en la relación proporcional entre los coeficientes de Zernike y el error de forma de superficie tipo SMP, para lograr un rango dinámico alto de >100, que es 10 veces mayor que los reportados. Además, para guiar el diseño de la estructura de carga y cuantificar la sensibilidad de la forma de la superficie a los parámetros de diseño, se utilizaron tanto el diseño de experimentos (DOE) como los métodos de función de base radial (RBF) para determinar el requisito de precisión de cada fuerza y la longitud del brazo correspondiente en puntos de carga separados, bajo el requisito de precisión de forma de PV < 1 m que coordina con la capacidad de la técnica de Figuración por Haz Iónico (IBF).

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