Existe un desajuste de deflexión en los microsistemas electromecánicos (MEMS) con voladizos. Para ajustar este desajuste, ideamos un método para formar películas de Al y Ni en el voladizo y ajustamos la tensión de la película mediante un recocido térmico a baja temperatura durante un corto período. Así, la tensión de la película de Al se ajustó con éxito mediante el recocido a 150-400 grados Celsius durante 1-5 minutos. Durante este proceso, la tensión térmica compresiva causada por el desajuste de la expansión térmica a 150 grados Celsius o más condujo a una deformación plástica, resultando en un estado de tensión tensil mejorado después del enfriamiento. La tensión de la película de Ni cambió de un lado compresivo a un lado tensil después del recocido a 200-400 grados Celsius durante 1-30 minutos debido a la contracción de la película causada por la cristalización y la orientación cristalina durante el proceso de recocido.